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TAC-ONTM 非晶鉆石膜 (超級類金剛石DLC膜)

先進真空鍍膜領跑者

TAC-ONTM(非晶鉆石膜) 薄膜具有穩定的鉆石結構,可形成鉆石成分高達 88%的sp3 斜四方鍵合。該膜層具有低溫沉積、超高硬度,超強附著力低摩擦系數、化學性質穩定、耐磨損等特點。由FCVA技術產生的特殊無氫結構類鉆石膜層可顯著延長 各類模具工具、部件的使用壽命,并大幅降低生產維護成本,從而顯著提高產能。


系統配置TAC-ONTMDLC
鉆石成分(%)~85~25
密度(g/cm3)~3.3~2
硬度(GPa)~40~15
磨耗率(mm3/Nm)<1.0x10-8<8x10-8
摩擦系數~0.1~0.14
鍍膜溫度(℃)<80~200
工作溫度 (02 <10ppm,℃)~800~500
典型厚度(nm)~1200~2000
鍍膜真空度 (Torr)~10-5~10-2
鍍膜粒子能量(eV)~100~5

TAC-ONTM 的優點

  • 膜層致密
  • 超強附著力
  • 低溫鍍膜
  • 無氫碳膜
  • 超高硬度
  • 低摩擦系數
  • 低表面能
  • 雜質顆粒少

主要應用

  • 硬盤讀寫磁頭及盤片
  • 切削刀具
  • PCB 鉆頭鉆針
  • 精密模具
  • 汽車部件
  • 耐磨部件
  • 縫紉部件
  • 表面處理

TAC-ONTM非晶鉆石膜 (超級類金剛石DLC膜)