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文章出處:疑難解答 責任編輯:深圳市麻豆乱淫一区二区三区電子科技有限公司 發表時間:2019-09-12
  

一套基本的x-y掃描裝置看起來很簡單:兩塊反射鏡,由電機驅動,可將入射激光束反射到特定區域(工作區域)的任何點。一組平場(f- )透鏡確保焦點在工作區域平麵內,對基本的Nd:YAG激光器來說,典型的工作範圍為40×40平方毫米(ff- =100 毫米)至180×180 平方毫米(ff- =254 毫米;對於高級諧波激光器和二極管激光器,其工作範圍為40×40 平方毫米(ff- =100 毫米)至120×120平方毫米(ff- =163 毫米),具體取決於平場透鏡的焦距。顯然,所需工作範圍越大,工作距離越長。如果在掃描振鏡前端的激光光路中,使用聚焦透鏡和可移動透鏡的組合來代替平場透鏡,工作範圍和工作距離還會進一步增加。該裝置可使工作範圍達到1200×1200平方毫米,工作距離達到1500毫米。

在多種應用場合中,要求較高的定位速度。比如,當f- 透鏡焦距長度達163mm時,在120×120mm2的工作區域內掃描速度可達10 m/s。簡單的幾何計算表明,振鏡鏡麵較小的角度偏差可能導致激光光斑在工作平麵上出現較大的錯位。因此,不管對振鏡驅動、鏡麵,還是反射鏡安裝架來說,高級別的定位精度是必須的。同時,振鏡電機和驅動器電子器件會發熱,產生熱漂移,導致上述定位偏差的發生。熱增益漂移特征數值<30 rad/K,增益漂移特征數值<50 ppm/K(每軸)。因此,如果要求高精度和長期穩定性,一種麻豆免费在线视频是選配帶水冷功能的掃描振鏡。其中最具代表性的例如為Superscan-II-LD,長期穩定性可達到24小時<200 rad(未帶主動冷卻功能時為<300 rad)。此外,專門的集成自動校準功能的係統類型可將增益漂移降低至20 rad/K,位置漂移降低至5 ppm/K,8小時長期穩定性< 20 rad。

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